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池田屋?。BARA荏原 干式真空泵 EV-X型

池田屋??！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
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  • 更新時(shí)間：2025-03-21
  • 產(chǎn)品型號(hào)：EV-X100N
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：84
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聯(lián)系電話：0755-22220216

產(chǎn)品詳情

池田屋??！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型  EV-X100N

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EV-X型

結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)能，單個(gè)裝置可覆蓋多種工藝

適用于中等負(fù)荷工藝
高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準(zhǔn)
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50Hz/60Hz）
無油
符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面積小

該款中負(fù)荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節(jié)能技術(shù)，并采用了針對(duì)自動(dòng)化工廠制造而優(yōu)化的模塊化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步的小型化和節(jié)能化。
寬范圍的溫度控制擴(kuò)大了適用工藝。
由于同一型號(hào)可覆蓋多個(gè)工藝，因此可優(yōu)化備用設(shè)備庫存，減少維護(hù)和培訓(xùn)工作，并可靈活適應(yīng)未來的工藝擴(kuò)展。
此外，通過對(duì)各工序進(jìn)行最佳溫度控制，可提高工序耐性，并可延長(zhǎng)零件的更換周期，有助于降低TCoO。
支持的應(yīng)用示例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等。


產(chǎn)品規(guī)格

型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大處理風(fēng)量(L/min)10,00020,00030,000
到達(dá)壓力(Pa)0.50.50.5
電源規(guī)格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到達(dá)底壓時(shí)消耗電力(kW)*0.911.5


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